北京北方華創微電子裝備申請物料調度方法及半導體工藝設備專利，提高了物料的使用率、傳輸效率和產能

金融界2024年11月11日消息，國家知識產權局信息顯示，北京北方華創微電子裝備有限公司申請一項名爲“物料調度方法及半導體工藝設備”的專利，公開號 CN 118919446 A，申請日期爲 2024 年 7 月。

專利摘要顯示，本申請公開了一種物料調度方法及半導體工藝設備。其中，該方法包括：獲取儲料器中的填充晶圓盒和填充晶圓盒中的填充晶圓，以及各自的使用次數；將使用次數等於或者小於使用次數閾值的填充晶圓盒中，使用次數小於使用次數閾值的填充晶圓存儲至第一變量中；刪除第一變量中多餘數量的填充晶圓；將刪除後的第一變量中的填充晶圓傳輸到晶舟上，執行工藝，更新填充晶圓和填充晶圓盒的使用次數，並將晶舟上的填充晶圓傳輸回對應的填充晶圓盒；若填充晶圓盒中填充晶圓的最小使用次數等於使用次數閾值則將填充晶圓盒從儲料器裝載出半導體工藝設備。本申請使得每個填充Wafer均可以充分使用，提高了物料的使用率、傳輸效率和產能。

本文源自：金融界

作者：情報員