我國首次建立納米級角度國家一級標準物質

近日，市場監管總局新批准二維鉻納米柵格標準物質、二維硅納米柵格標準物質、一維硅納米光柵標準物質3項國家一級標準物質，能夠同時滿足納米制造產業角度和長度校準需求，爲新一代信息技術、新材料、生物製造、高端裝備等領域的納米制造提供精準“標尺”。

納米制造，測量先行。研製高精度的納米級標準物質，是打造高準確度納米測量傳遞鏈，提升國產納米制造產品質量可靠性的關鍵。標準物質研製單位同濟大學相關專家介紹，二維鉻納米柵格標準物質突破性地採用分步沉積原子光刻技術，製備難度較大，可直接溯源到自然界量子化物理常數（鉻原子躍遷頻率），角度絕對準確性在0.001°量級，相當於把一個蛋糕按扇形均分成三十六萬份。二維鉻納米柵格的結構面積一般爲300μm×300μm，在沒有劃傷或破壞的狀況下，每次使用2μm×2μm，不重複使用測量區域次數可達20000次以上。可應用於晶圓級原子力顯微鏡、掃描電子顯微鏡等集成電路微納檢測設備校準，也可應用於對超精密位移傳感器多種參數的光柵干涉法校準。

納米級角度標準物質的研製成功，實現了納米測量領域的扁平化計量，避免傳統逐級量值傳遞方式造成的誤差累積放大，能夠通過在線校準直接將高精度計量數據直接傳遞到企業計量現場，爲我國納米制造產業高質量發展提供有力支撐。

下一步，市場監管總局將持續強化納米測量領域標準物質研製應用，進一步解決納米制造“測不了、測不全、測不準”問題，爲築牢新興產業和未來產業技術基礎提供支撐保障。