雅科貝思取得晶圓檢測裝置專利，提高兼容適配性

金融界2025年3月10日消息，國家知識產權局信息顯示，雅科貝思精密機電（上海）有限公司取得一項名爲“一種晶圓檢測裝置”的專利，授權公告號 CN 222562626 U，申請日期爲2023年12月。

專利摘要顯示，本實用新型公開了一種晶圓檢測裝置，涉及晶圓檢測技術領域，其包括基座、上層支撐件和下層支撐件，上層支撐件被配置爲承託藍膜晶圓，所述上層支撐件包括藍膜鐵環和上層驅動缸，藍膜鐵環設置有居中讓位孔；上層驅動缸的固定端與基座連接，上層驅動缸的活動端與藍膜鐵環連接；所述下層支撐件被配製爲承託普通晶圓，下層支撐件包括靜電卡盤和下層驅動缸，靜電卡盤設置在藍膜鐵環的居中讓位孔的位置處；下層驅動缸的固定端與基座連接，下層驅動缸的活動端與靜電卡盤連接；其中，藍膜鐵環和靜電卡盤設置在不同的高度位置。本實用新型所述的晶圓檢測裝置具有提高兼容適配性，操作方便以及節約生產成本的效果。

天眼查資料顯示，雅科貝思精密機電（上海）有限公司，成立於2009年，位於上海市，是一家以從事電氣機械和器材製造業爲主的企業。企業註冊資本14998.001萬人民幣，實繳資本625萬人民幣。通過天眼查大數據分析，雅科貝思精密機電（上海）有限公司共對外投資了10家企業，參與招投標項目6次，財產線索方面有商標信息126條，專利信息105條，此外企業還擁有行政許可101個。

本文源自：金融界

作者：情報員