奕瑞影像申請用於植球的晶圓載具及方法專利,提高工藝的穩定性和可靠性
金融界2024年11月11日消息,國家知識產權局信息顯示,奕瑞影像科技(太倉)有限公司申請一項名爲“種用於植球的晶圓載具及方法”的專利,公開號CN 118919473 A,申請日期爲2024年7月。
專利摘要顯示,本發明提供一種用於植球的晶圓載具及方法,晶圓載具包括植球治具、翻轉治具和固定治具,植球治具和翻轉治具用於裝載待植球晶圓,固定治具用於將待植球晶圓固定在焊線機上。在利用本發明提供的晶圓載具進行植球時,先將晶圓切割成半圓形的待植球晶圓,再將待植球晶圓裝載在晶圓載具中進行植球,一方面,避免了整片晶圓在拿取過程中容易出現的破片的問題,提高了工藝的穩定性和可靠性;另一方面,植球完成後再將其切割成多個單粒芯片,解決了單個芯片植球過程中無法吸住芯片的問題,確保了芯片在植球過程中的安全性。
本文源自:金融界
作者:情報員