中芯遭斷頭！荷廠爆能賣EUV給大陸 竟暗藏魔鬼

艾司摩爾（ASML）表示，不需獲得美國出口許可，就可供應深紫外光刻機給大陸。（示意圖/達志影像/shutterstock）

儘管大陸晶圓代工龍頭中芯國際遭美國製裁，不過中芯設備供應商、荷蘭半導體設備大廠艾司摩爾（ASML）表示，不需獲得美國出口許可，就可供應深紫外光刻機（DUV）給大陸，但有一秘密沒說，ASML並未提到，7奈米以下、最先進極紫外光刻機（EUV）出口大陸，是否需要美國批准。

隨着製程不斷推進，中芯目前EUV設備已無法滿足精度的要求，中芯於2018年向ASML採購高階製程所需EUV機臺，但受到美國阻攔，一直拿不到貨，導致中芯技術發展被卡在7奈米。

財新報導，ASML執行長Peter Wennink表示，該公司不需獲得美國許可，就可以從荷蘭出貨DUV機臺給中國大陸客戶，至於從ASML美國出貨，或直接到受法規影響的客戶，仍需獲得許可證。

但Wennink並未提及，7奈米以下、最先進的EUV極紫外光刻機出口大陸，是否需要獲得美國允許。

ASML日前公佈第3季營收高達39.58億歐元，其中21%來自大陸，預計今年該公司對大陸的銷售額將續增、超過10億歐元。ASML目前在大陸有四、五個主要的大客戶，今年銷售多數來自邏輯晶片代工業務，明年存儲業務收入會更高。