準賣不準修？美要求ASML對出售中國光刻機停止關鍵部件維修

美國正要求荷蘭盟友對中國晶片製造設備的維護施加更多限制，包括不對出售給中國的設備提供關鍵部件的維護服務，這可能導致這些光刻機無法運作。（圖／路透）

在美國聯合日本、荷蘭升級對於半導體設備的出口限制之後，美國正要求荷蘭盟友對中國晶片製造設備的維護施加更多限制，包括不對出售給中國的設備提供關鍵零部件的維護服務，但中國企業能在當地修復的周邊零部件則不限制供應商提供維修服務。

據《快科技》報導，美國商務部負責工業和安全的副部長艾斯特維茲（Alan Estevez）表示：「我們正在與我們的盟友合作，確定哪些服務重要，哪些服務不重要。我們正在推動不對這些關鍵部件提供服務，目前還在進行討論。」

不過他補充說，對於中國企業能夠在國內修復的周邊部件，美國並不打算給予限制。

報導表示，對於半導體設備來說，要想持續穩定在半導體制造產線上運行，設備的維護極爲的關鍵。如果這些設備離開了售後維護，甚至可能會在一週之內就會出現問題。

同樣地，設備的一些核心零部件也需要定期更換。據瞭解，ASML光刻機的工件臺對準定位用的部件，一般來說，2年就需要更換。因此，中國大陸的晶圓製造商如果想要維持產線的生產的穩定，產線上的ASML光刻機的核心部件的供應和維護極爲關鍵。

不過，報導指出，目前ASML受限的光刻機主要是NXT:2000i及更先進的機型，其他未受限的光刻機型銷售和維護是沒有受到影響。當然，如果相關設備零部件涉及美國技術來源，則會受到美國的出口限制。

目前ASML在大陸有一個維修中心，可以對於一些關鍵零部件進行維修，但是如果相關零部件屬於進口受限的，而大陸半導體廠商光刻機損壞的正是這些受限的中國無法自行維修零部件，那就會造成問題。

報導說，對於中荷雙方來說，在去年年底前已經出口到中國的NXT:2000i及更先進的光刻機機型，隨着許可的失效以及美方的進一步施壓，ASML後續能否繼續爲這類設備提供維護已成爲一個懸而未決的問題。

荷蘭首相呂特（Mark Rutte）近日在中國展開訪問，關於ASML光刻機的議題受到外界高度關注。但是呂特刻意淡化中荷之間在ASML設備出口限制問題上的衝突，他拒絕回答荷蘭政府是否會拒絕向ASML頒發許可證的問題，以及讓ASML繼續爲這些中國客戶提供維護服務的問題，「當我們不得不採取（出口限制）措施時，荷蘭會確保這些措施絕不會專門針對某個國家，我們總是努力確保影響是有限的。」