《產業》衡升科技參展SEMICON TAIWAN 秀奈米探針實力

成立於2006年的衡升科技主要從事奈米探針（Nano Probing）、故障分析檢測服務、代理機臺整合銷售等業務。董事長暨創辦人黃信豪專研物理及材料領域，鑑於半導體先進製程發展演進趨勢，自2008年積極投入奈米探針研究、開發和製造，公司具相當程度的技術領先。

衡升科技2013年起提供當時最新進的10奈米用於14奈米制程故障分析使用，目前2～5奈米探針已獲客戶大量採用。去年成功開發多款1奈米以下的7埃米、5埃米等級探針，可針對未來進入製程量產的晶片進行故障分析，改善製程良率。

衡升科技表示，奈米探針會在新制程量產前的2～4年開始被大量應用。依據摩爾定律及半導體發展藍圖，當半導體制程精進至65奈米以下時，晶片電性數據的量測和分析將變得更困難，奈米探針的重要性將顯著提升。

隨着先進製程發展演進，2025年將邁入2奈米制程、並全面改爲環繞閘極（GAA）架構，使故障分析難度將大幅提升，GAA架構下生產良率提升及維持是晶圓代工廠的首要任務，預計將驅使製程產生大量分析需求，奈米碳針的應用將可能從實驗室轉進製程中。

衡升科技利用本身故障分析量測技術，整合德國製造工藝，建置自有品牌「Nano e」，並搭配自家奈米探針，持續協助客戶在先進製程開發的推進與突破。目前已是全球奈米探針的領導廠商，主要客戶涵蓋全球前三大半導體廠，專業技術深受客戶肯定。