佳能：目標最快今年開始交付低成本納米壓印設備

負責監督新型光刻機開發的佳能高管武石洋明1月27日接受採訪稱，採用納米壓印技術的佳能光刻設備FPA-1200NZ2C目標今年或明年出貨。

佳能於去年10月宣佈推出FPA-1200NZ2C，稱其可製造5納米芯片。佳能方面表示，這款新設備的成本“將比ASML的EUV少一位數”，耗電量也會減少90%。（英國金融時報）