康寧推出 EXTREME ULE® Glass 支援下一代晶片製程

康寧公司。記者李珣瑛／攝影

康寧公司（紐約證券所代碼：GLW）–全球領先的玻璃、陶瓷和材料科學創新者，1日宣佈推出Corning® EXTREME ULE® Glass，這是一種能夠協助晶片製造商滿足智慧型裝置與AI驅動技術快速增長需求的新材料。這種新材料將幫助晶片製造商改進光罩（用於晶片設計的模板），對於量產現今最先進、最具成本效益的晶片至關重要。

康寧設計的EXTREME ULE® Glass可承受最高強度的極紫外光（EUV）黃光製程技術，包括高數值孔徑（High NA）EUV，這項技術正迅速成爲產業標準。EUV黃光製程技術允許製造商使用最先進的光罩來對最小、最複雜的晶片設計進行圖案化和印刷。該製程需要極高的熱穩定性和均質的玻璃材料，以確保製造效能一致。

「隨着人工智慧的興起，對於積體晶片製造的需求日益增長，玻璃技術的創新比以往任何時候都更加重要。」康寧先進光學副總裁暨總經理Claude Echahamian說道：「康寧的EXTREME ULE® Glass將有助於實現更高功率的EUV製造和更高的良率，在追求摩爾定律中擴大康寧所扮演的積極角色。」

EXTREME ULE® Glass的熱膨脹特性有助於在所有光罩中提供卓越的一致性和效能。此外，玻璃出色的平整度和均質性大幅降低了光罩波度（waviness），有助於製造商控制不必要的變因，並幫助高階鍍膜的應用。

EXTREME ULE® Glass標誌着康寧超低膨脹（ULE）玻璃產品組合的進化，ULE®是一種二氧化鈦矽酸鹽玻璃材料，具有接近零的膨脹特性，長期以來一直用於EUV光罩和反射鏡。透過使用其創新的玻璃成型製程，康寧預期減少生產過程中使用的能源和產生的廢棄物，有助於爲康寧的永續發展承諾做出貢獻。

康寧將於9月30日至10月3日在加利福尼亞州蒙特雷舉行的SPIE Photomask Technology + Extreme Ultraviolet Lithography會議上展示EXTREME ULE® Glass和其他創新半導體材料。