上海芯絨申請 MEMS 壓力傳感器相關專利，避免敏感膜因變形過大而損壞

金融界 2024 年 10 月 26 日消息，國家知識產權局信息顯示，上海芯絨科技有限公司申請一項名爲“MEMS 壓力傳感器、製備方法及壓力檢測裝置”的專利，公開號 CN 118811767 A ，申請日期爲 2024 年 7 月。

專利摘要顯示，本申請涉及傳感器技術領域，具體而言，涉及一種 MEMS 壓力傳感器、製備方法及壓力檢測裝置。其中，MEMS 壓力傳感器的製備方法，包括提供第一襯底和第二襯底第一襯底具有相對的第一表面和第二表面，第二襯底具有相對的第三表面和第四表面；在第一表面刻蝕出第一凹槽；在第三表面刻蝕出第二凹槽，以形成敏感膜以及設置於敏感膜的側面的島樑；將第三表面和第一表面鍵合，以形成封閉於第一襯底和第二襯底之間的腔體，島樑位於腔體內，島樑和第一襯底之間具有間隔，間隔能夠允許島樑在敏感膜變形時向接近第一襯底的方向移動並限制島樑的移動距離。根據上述方案，可以避免敏感膜因變形過大而損壞，有利於提高傳感器的可靠性。

本文源自：金融界

作者：情報員